蜂窩結構隔振平臺臺板或超導磁隔振平臺臺板，臺板強度高，穩定可靠；隔振器采用擺桿的結構創新設計，該結構的水平固有頻率相對于常規氣浮平臺較低，該支撐在水平方向有很好的隔振效果和承載能力。關鍵氣動執行元件均采用德國FEST0產品，靜音空氣壓縮機氣源、噪聲低。

? 阻尼結構工作臺板，可消除表面共振
? 臺板可選
? 完全密封孔
? 自動調平
? 利用單擺原理得到更低的水平方向固有頻率

標準尺寸： 

臺板規格	臺板尺寸（mm）	固有頻率	高度（m）	載荷（KG）
009006	900×600	垂直：2.0Hz  水平：1.5Hz	0.8	＜135
010008	1000×800	垂直：2.0Hz  水平：1.5Hz	0.8	＜200
012009	1200×900	垂直：2.0Hz  水平：1.5Hz	0.8	＜270
015010	1500×1000	垂直：2.0Hz  水平：1.5Hz	0.8	＜375
018010	1800×1000	垂直：1.8Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜450
020010	2000×1000	垂直：1.8Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜500
012012	1200×1200	垂直：2.0Hz  水平：1.5Hz	0.8	＜360
015012	1500×1200	垂直：2.0Hz  水平：1.5Hz	0.8	＜450
018012	1800×1200	垂直：1.8Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜540
020012	2000×1200	垂直：1.8Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜600
024012	2400×1200	垂直：1.5Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜720
030012	3000×1200	垂直：1.5Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜900
035012	3500×1200	垂直：1.5Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜1050
040012	4000×1200	垂直：1.2Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜1200
050012	5000×1200	垂直：1.2Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜1500
060012	6000×1200	垂直：1.2Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜2000
015015	1500×1500	垂直：1.8Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜560
018015	1800×1500	垂直：1.5Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜675
020015	2000×1500	垂直：1.5Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜750
024015	2400×1500	垂直：1.5Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜900
030015	3000×1500	垂直：1.5Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜1125
035015	3500×1500	垂直：1.5Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜1300
040015	4000×1500	垂直：1.2Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜1500
050015	5000×1500	垂直：1.0Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜1875
060015	6000×1500	垂直：1.0Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜2250
024018	2400×1800	垂直：1.5Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜1080
030018	3000×1800	垂直：1.5Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜1350
035018	3500×1800	垂直：1.5Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜1575
040018	4000×1800	垂直：1.2Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜1800
050018	5000×1800	垂直：1.0Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜2250
060018	6000×1800	垂直：1.0Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜2700
030020	3000×2000	垂直：1.2Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜1500
035020	3500×2000	垂直：1.2Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜1750
040020	4000×2000	垂直：1.0Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜2000
050020	5000×2000	垂直：1.0Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜2500
060020	6000×2000	垂直：1.0Hz  水平：1.0Hz	0.8	＜3000

性能指標：

固有頻率	垂直：1.0～2.0Hz    水平：1.0～1.5Hz
隔振方式	空氣彈簧   擺桿隔振
調平方式	自動調平
阻尼方式	多小孔空氣阻尼
平臺高度	800mm
工作壓力	0.2～0.4MPa
空氣源	靜音空氣壓縮機  ＜50dB
隔振效率	垂直：5Hz時：86～92% ；10Hz時：90～95% 水平：5Hz時：88～94% ；10Hz時：92～98%
重復定位精度	±0.1mm
臺板平面度	≤0.05mm/m2
臺板粗糙度	≤0.8μm，表面亞光處理
調節高度	±10mm

應用領域：

 顯微鏡、醫療生物

 光路測試、光學測量

 激光掃描、激光干涉

 光譜實驗、精密檢測

 集成電子

 對振動要求非常高的儀器設備