Diener 等離子清洗機 NANO系列
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低壓等離子清洗機 Diener NANO系列
低壓等離子技術，氣體在真空中通過獲取能量從而被激發。等離子由高能離子、高能電子以及其它反應粒子組成。由上，材料表面可以被有效的改變。等離子效應可分為以下三類：
一微砂噴射：材料表面通過離子轟擊被消減
二化學反應：材料表面與離子化的氣體發生化學反應
三紫外線放射：紫外射線將長鏈碳化合物分解
NANO多種配置，完全滿足不同客戶需求
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VERSION A |
VERSION C |
VERSION D |
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規格、參數：
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系列 |
Nano系列 |
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控制系統 |
半自動型 PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
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體積 |
18~36L |
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真空腔室 |
圓形不銹鋼件，配有蓋子
矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門
配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門
配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門
配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門 |
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電極 |
單層或多層 RIE |
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樣品支架 |
（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
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氣源 |
針型閥 質量流量控制器 (MFCs) |
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壓力計 |
Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本） |
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計時器 |
數字型 |
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高頻電流發生器 |
40 kHz: 功率 0 - 300 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W 所有發生器均為 0 - 100% 無級可調型 |
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真空泵 |
規格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要） |
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電源 |
臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位 |
應用領域：
| REM, TEM | 考古 | 汽車制造業 | 橡膠制造業 |
| 微機械制造 | 傳感器檢測 | 滅菌 | 紡織業 |
| 醫療器械制造業 |
塑料制造業 |
研發部門 | 電子半導體行業 |
應用：
表面清潔
(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化
(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蝕刻
(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂層
(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)
