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日立FlexSEM 1000掃描電子顯微鏡

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  • 緊湊型設計，分辨率為4 nm*1
  • 通過高靈敏度二次電子探測器，背散射探測器，低真空探測器（UVD*2），實現低加速電壓/低真空下高質量圖像觀察
  • 操作簡捷，即使新手也能拍出高質量的圖片
  • 新開發的導航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野
  • 大窗口（30 mm2）SDD能譜系統，便于快速分析元素成分*2
*1設置在桌面時，分離主機和電源箱
*2選配

項目 內容
分解能*3 4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式）
15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式）
5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式）
加速電壓 0.3 kV ～ 20 kV
放大倍率 6× ～ 300,000× （底片倍率）
16× ～ 800,000× （顯示倍率）
低真空模式 真空范圍：6 ～ 100 Pa
電子槍 預對中鎢燈絲
樣品臺 3-軸自動馬達臺
X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm
R：360°, T：-15° ～ ＋90°
max樣品尺寸 直徑80 mm
max樣品高度 40 mm
尺寸 主機：450（W） x 640（D） x 670（H） mm
供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm
探測器選配
  • 高靈敏度低真空二次電子探測器（UVD）
  • 能量分散型X線探測器（EDS）

*3
主機與供電單元組合使用
*
PC、桌子、機械泵、顯示器需要本地采購


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